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PTFE(四氟)耗材
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四氟晶圆刻蚀台280mm可定制耐腐蚀

产品时间:2024-10-15 13:18:04

简要描述:

四氟晶圆刻蚀台采用高纯聚四氟乙烯材质,可以为晶圆提供稳定的支持平台,将其平稳放置。主要起到固定晶圆的作用,承载腐蚀性刻蚀液的作用。可根据实验要求定制不同尺寸样式四氟刻蚀台。

详细介绍

四氟晶圆刻蚀台采用高纯聚四氟乙烯材质,可以为晶圆提供稳定的支持平台,将其平稳放置。在刻蚀过程中,晶圆需要保持固定不动,以确保刻蚀的精度和准确性。

刻蚀台的设计能够确保晶圆不会因为外界的震动、晃动或其他干扰而发生位移,保证刻蚀操作的顺利进行。

在湿法刻蚀过程中,需要化学刻蚀液对晶圆进行刻蚀。四氟刻蚀台可耐受强酸,强酸,有机溶剂等,承载这些化学刻蚀液体,确保刻蚀液不会泄露或流失到其他地方,

避免对设备以及环境造成污染损害。

刻蚀完成之后,方便排放刻蚀液,方便进行后续清洗处理工作。具备良好的化学稳定性,能耐受刻蚀液的腐蚀。

四氟刻蚀台具备以下特点:

耐腐蚀,可耐受强酸强碱,王水,魔酸,刻蚀液等有机溶剂。

耐高低温,可耐受-200℃-250℃,在高低温状态下保持良好的性能。

表面光滑无吸附,本底低,对晶圆无损害。

可根据实验要求定制不同尺寸样式。

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