光刻掩膜版清洗篮(Mask cleaner)是一种用于清洗光刻掩膜版的工具。
光刻掩膜版在半导体制造、平板显示制造等高精度微纳加工领域起着重要的作用。
它上面的微小图案和结构在芯片制造等过程中用于将设计图案转移到硅片等基底材料上。
在使用过程中,掩膜版会沾染各种污染物,如灰尘、有机物、金属颗粒等,
清洗篮就是用于在清洗过程中放置掩膜版,确保其在清洗过程中得到有效清洁,同时避免受到损坏。
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